|
|
Z-INSERT 100 |
Z-INSERT 200 |
Z-INSERT 300 |
|
运动范围（µm） |
100 |
200 |
300 |
|
分辨率（nm） |
0,1 |
0,2 |
0,3 |
|
典型的噪声基准（nm） |
0,01 |
0,02 |
0,03 |
|
全范围重复性（nm） |
0,2 |
0,4 |
0,6 |
|
线性化（典型的） |
0,02% |
0,02% |
0,02% |
|
谐振频率（hz) |
500 |
450 |
350 |
|
刚度 (N/µm) |
0,6 |
0,6 |
0,4 |
|
最大负载（kg）-水平使用 |
1 |
1 |
1 |
|
最大负载（kg）-垂直使用 |
0,5 |
0,5 |
0,5 |
|
传感器 |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
|
尺寸：W x L x H (mm) |
109,80 x 159,80 x 19,10 |
109,80 x 159,80 x 19,10 |
109,80 x 159,80 x 19,10 |
|
材料 |
Al |
Al |
Al |
|
电缆长度（m） |
2 |
2 |
2 |
|
推荐控制器 |
Standard |
Standard |
Standard | |
|
