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LTHS2 |
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运动范围XY（µm） |
75 |
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分辨率XY（nm） |
0,075 |
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典型的噪声基准 XY（nm） |
0,0075 |
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全方位的重复性XY（nm） |
0,15 |
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线性化（典型的） |
0,02% |
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谐振频率X / Y（Hz） |
1500/1000 |
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刚度 (N/µm) |
2/2 |
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最大负载（kg）-水平使用 |
0,5 |
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最大负载（kg）-垂直使用 |
0,3 |
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传感器 |
Silicon HR sensor |
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尺寸W x L x H (mm) |
152,5 x 190 x 18,5 |
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材料 |
Al |
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电缆长度（m） |
2 |
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推荐控制器 |
Standard or High Speed | |
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