D7型λ/1000超高精度激光干涉仪，设计紧凑、用户界面友好，0.6nm极好的测量精度。非常好地测量高精密光学系统、复杂的表面形状、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技术的面形特征和缺陷。这对于建造精密的高端卫星相机、高分辨望远镜、强大的微芯片，乃至超快计算机都是不可或缺的重要手段。
主要特点：
• D7型激光干涉仪提供0.6nm的测试准确度和极好的重复性(世界纪录)
• RMS重复性：< 0.06 nm (λ/10500)
• 检测球面、平面、非球面及自由形体
• 测量光学系统的透射波阵面
• 曲率半径测量
• 数据获取：相移干涉测量法(PSI)
• 尺寸：490mm x 300mm x 260mm
• D7型激光干涉仪：紧凑、可靠、使用方便
• 测试过程简便，只需三个步骤：
1. 把待测的光学系统或部件放在支架上
2. 用软件界面准直调整测试部件
3. 调整干涉条纹并按动测量按钮即可进行测量
优点：
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优点
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好处
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理想参考：由于采用物理参考，因而没有传输误差
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1. 省时：因为无需改变大量参考
2. 节省成本：因为无需购买昂贵的参考装置
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比标准性能传输的菲索球面干涉仪有超过100倍更高的精度
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节省时间和成本：因为不需要中间仪器和附加的方法来提高精度
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D7型激光干涉仪比其它激光干涉仪可检验更多的表面特征
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由于在安装和光学系统上市之前更好地揭示了制造误差，从而节省了成本
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稳定性和坚固性
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1. 省时：因为极好的重复性提供准确的测试数据，无需反复地证明测试结果
2. 节省成本：因为D7型激光干涉仪不需要特殊的(工作)环境条件
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应用范围宽
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节省时间和成本：由于紧凑和简单的设置，可在实验室或工厂（现场）垂直和水平方向使用D7型激光干涉仪
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没有可追溯的误差
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由于在测量非球面和自由形体时简化的设置，从而节省时间和成本
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主要技术参数：
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性能
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精度
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≤0.6 nm (λ/1000)
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RMS波前重复性
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≤0.23 nm (λ/2800)
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数据采集时间
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10ms
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光学
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系统数值孔径(NA)
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0.6 (F数 0.83)
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系统成像数值孔径(NA)
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0.55 (F数 0.91)
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成像变焦系统
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软件界面控制4 x光学变焦
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成像
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具有伪影去除选项的相干（无散射玻璃）
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CCD相机
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0.5k × 0.5k (可选：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客户要求)
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高分辨率
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λ/8000
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像素深度（数字化）
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12位
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曝光时间
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最少40μs
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传感器像素分辨
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500×500，直径≥50mm
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聚焦控制
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电动及软件界面控制
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光学聚焦范围
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±2米
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激光器
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激光类型和波长
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稳定的He-Ne激光器，波长：632.8nm
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激光功率
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2mW（更高功率可根据用户的要求提供）
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偏振
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可调节测试表面性质
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相干
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≥100米
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系统
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数据采集
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相移干涉测量（PSI）或静态
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PSI方法
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PZT电子相移
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准直范围
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±2.5度
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准直类型
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双点
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准直十字线
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计算机产生
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*接受定制解决方案
D7型激光干涉仪的应用：
I. 波前质量
• 投影镜头
• 望远镜
• 显微镜
• 光学镜头
II.表面光学质量
• 球面
• 平面
• 角隅稜鏡
• 非球面
• 自由形体
• 参考光学系统
III.曲率半径
• 把长距离传感器与D7激光干涉仪提供的最高聚焦精度相结合，可获得ppm RoC精度
IV. 成像质量
• 在部署之前验证你的光学系统的分辨能力
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